1)第十一章:国产第一台极紫外光刻机_直播:我和周周试婚,科研家曝光
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  此时大家都是通过外面的屏幕来观看里面的实验。

  因为人太多,就会带入很多细菌和灰尘。

  此时苏晨在实验室中担任指挥,其他科研人员都在紧急调配。

  里面是一个非常小巧的机器。

  大家看了以后都很疑惑。

  因为极紫外光刻机大家不是没有见过。

  体型非常庞大!

  毫不夸张的说,相当于一辆公共汽车大小!

  通体白色,非常占地方。

  而净室里的机器看去只有一张办公桌那么大,机型是黑色的。

  看去就像是国外生产光刻机的斯麦尔集团生产的阉割版。

  让人有些担心,这种机器真的可以做到7nm、5nm,乃至未来几年会出现的3nm的光刻任务吗?

  此时里面的苏晨已经恢复了精神,面色平静,没有一丝感情。

  似乎他已经没有体力让自己兴奋起来!

  “老师,实验可以开始了。”

  苏晨开口说道。

  杨平按下麦克风的按钮:“第9次芯片生产实验,启动!”

  随着一声令下。

  科研人员操作者机械臂,吸附起了一块12英寸的晶圆。

  放入正在传送的履带之后,晶圆被拖动进入了黑色的光刻机之中。

  旁边的操作人员紧张的汇报着数据。

  因为过于紧张,连声音都有些颤抖。

  “报告……启动程序无故障!”

  “电压稳定设备运行正常!”

  “监控设备运行正常!”

  “……”

  此时整个研究室鸦雀无声,落针可闻!

  大家仿佛可以听到,机器中低落的液态金属锡被光脉冲轰击的声音。

  要知道,这东西的声音人类几乎不可能捕捉到!

  但是此时大家就是可以听到!

  出了仪器发出的细微声响之外。

  整个净室,哪怕大家相距胜远,都能听到彼此的呼吸声!

  苏晨目光在这一刻死死地盯着主控台的主屏幕,看着显示屏幕的光刻进度条。

  进度条一点点的衍生,他的手心开始湿润了起来。

  这场实验已经接近十次了!

  这次是最接近成功的一次!

  极紫外光刻机太重要了。

  有了它,只要有了芯片图谱,就可以制造出来相应的芯片!

  而就在不久之前,杨平实验了5nm芯片图谱,还在实验阶段!

  而今天,他们就是要利用光刻机生产5nm芯片!

  如果真的可以做到这些,那么国家的半导体产业将会迈出史诗性的第一步!

  终于,在万众瞩目中,进度条拉满!

  一块晶圆被吐了出来,机械臂再度吸起来,然后放入蚀刻机。

  这个步骤不复杂,只是将暴露的单晶硅蚀刻掉。

  露出光刻后的凹槽。

  然后注入离子,让单晶硅拥有晶体管开关的特性。

  在用铜进行晶体管间的连接工作。

  在芯片彻底产出之前,大家都不敢说话。

  时间一分一秒过去,终于到了切割的步骤。

  终于,晶圆被切割成了700片小的芯

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